DE600 電子束蒸發真空鍍膜儀
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當前位置:真空設備 > 真空鍍膜
經營模式: 貿易
企業性質: 有限責任公司
發布日期: 2014-8-1 15:46:57
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地  址: 北京市亦莊經濟開發區文化園西路8號林肯公園6號樓701室
詳細說明
編號:產地:北京北京城區
價格:面議規格:
詳細介紹: LOAD LOCK預真空進樣室(可?。? 前開門蒸發腔體 冷凝泵和干泵 三個電子槍 最大8"基片 基片旋轉 基片偏壓(可?。? 離子源清洗基片(可?。? 基片加熱1000度(可選) 晶振沉積速率及膜厚控制 系統手動或自動控制 良好的薄膜均勻性和重復性 可沉積金屬、半導體和絕緣材料 可沉積多層膜及合金薄膜

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